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半导体设备轴承润滑：MSnen 高低温润滑脂的精密保护
半导体设备轴承润滑：MSnen 高低温润滑脂的精密保护 晶圆镀膜、真空传送、锂电池隔膜真空设备轴承，长期处于真空腔、-20℃～160℃高低温交变无尘环境，微量油脂挥发会在硅片表面形成油污污点，整批次晶圆报废，对润滑脂真空挥发、洁净度要求达到行业最高标准。 MSnen 上海茂孙半导体专用真空高低温润滑脂，采用超高纯无皂 PAO 基底，真空失重挥发损失＜0.1%；无灰无金属杂质，全程十万级无尘灌装；温域覆盖 - 85℃～280℃，高低温循环无析油；化学惰性不腐蚀铝合金腔体、硅基材；NLGI00# 半流体适配远距离真空集中润滑管路，不会堵塞细长油路。长三角多家晶圆厂上机实测，晶圆油污不良品近乎清零，设备拆检周期延长 3 倍，真空腔体清洁频次大幅降低。 针对锂电池隔膜、光伏真空设备可定制超低 VOC 洁净款，提供全套真空工况模拟检测数据用于项目入库审核。半导体、光伏制造企业，真空设备晶圆油污报废量大，可对接定制真空专用高低温润滑脂。 |
