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MSnen 茂孙半导体真空设备轴承润滑脂：晶圆产线超低挥发洁净润滑
晶圆镀膜、真空传送、锂电池隔膜真空设备轴承，长期运行于真空腔体‑20℃‑160℃高低温交变无尘环境；微量油脂挥发就会在硅片表面留下油污污点，造成整批晶圆报废，对润滑脂真空挥发、洁净等级要求极高。 MSnen 上海茂孙新能源半导体专用真空高低温润滑脂，采用超高纯无皂 PAO 基础油，真空失重挥发损失＜0.1%；无灰无金属杂质，十万级无尘环境灌装；工作温域‑85℃‑280℃，高低温循环不易析油；化学惰性，不腐蚀铝合金腔体、硅基材。NLGI00# 半流体型号适配远距离真空集中润滑管路，不会堵塞细长油路。长三角多家晶圆厂上机实测，晶圆油污不良品近乎清零，设备拆检周期延长 3 倍，真空腔体清洁频次明显下降。 面向锂电池隔膜、光伏真空设备可以进一步定制超低 VOC 洁净版本，提供完整真空工况模拟检测报告用于项目入库审核。半导体、光伏制造企业，真空设备晶圆油污报废量大，可对接定制真空专用高低温润滑脂。 |
