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半导体真空设备晶圆油污报废？真空洁净高低温润滑脂选型方案
晶圆镀膜、真空传送、锂电池隔膜真空设备轴承，长期运行在真空腔内，处于 - 20℃～160℃高低温交变无尘环境。润滑脂一旦出现微量挥发，就容易在硅片表面留下油污污点，造成整批次晶圆报废，因此该场景对润滑脂真空挥发性能、洁净度有着行业顶级标准要求。 MSnen 上海茂孙半导体专用真空高低温润滑脂，选用超高纯无皂 PAO 基底，真空失重挥发损失＜0.1%；无灰无金属杂质，产品全程在十万级无尘车间灌装。使用温域覆盖 - 85℃～280℃，经历高低温循环不会析油；配方具备化学惰性，不会腐蚀铝合金腔体与硅基材。NLGI00# 半流体型号适配远距离真空集中润滑管路，不易堵塞细长油路。长三角多家晶圆厂上机实测，晶圆油污不良品近乎清零，设备拆检周期延长 3 倍，真空腔体清洁频次显著下降。 针对锂电池隔膜、光伏真空设备，可定制超低 VOC 洁净版本，并且提供全套真空工况模拟检测数据，满足项目入库审核需求。半导体、光伏制造企业，存在真空设备晶圆油污报废量大的难题，可对接定制真空专用高低温润滑脂。 |
